型号：
ZHD-300M2
厂家：
北京泰科诺科技有限公司
功能：
利用材料在高温高真空度下升华的特点，蒸发镀膜。可进行高真空双源蒸发。配有膜厚监控仪，可随时监控蒸镀薄膜的厚度。
参数：
极限真空度：优于2.0×10-4Pa （1.5×10-6 Torr）；衬底加热温度：30~300℃。抽真空状态功率：700W；蒸发状态功率：≤3.2KW。
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