型号：
PLD300
功能：
铁电、介电、磁性、超导以及电极材料等多种薄膜制备。
参数：
工作温度：室温-800度；
气压：真空-1000帕氧压；
激光能量密度：300 mJ；
靶材：可提供4个靶位，同时实现公转和自转，靶材直径30 mm，厚度小于4-5mm；
样品台：薄膜尺寸均匀区 直径10 mm。
简体中文
English
打印本文本
收藏本文
回到顶部