磁电子材料与器件研究组

功能：

材料的表面形貌，微区力学和热导分析，材料的磁畴和铁电畴观察，材料微区导电性测量，等等。该多功能显微镜独具联用测试模式，能同时获得磁畴和铁电畴图像，铁电畴和导电信号，磁畴和热导分布信号等。

工作模式：

单一工作模式包括：Atomic Force Microscopy（AFM），Magnetic Force Microscopy（MFM），Electrostatic Force Microscope（EFM），Conductive AFM（CAFM），Piezo-response Force Microscopy（PFM），Scanning Thermal Microscopy（SThM），Quantitative Nanomechanical Mapping（QNM）。联用工作模式包括：MFM+PFM，PFM+CAFM，MFM+SThM等。

基本性能参数：

标称扫描范围：90μm×90μm×10μm；

X-Y定位噪音（闭环）：≤0.10nm RMS，Z传感器噪音水平（闭环）：35pm RMS；

温度范围：-35℃~250℃；

磁场范围：直流磁场0~2000高斯。