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性能测试仪器

原位光谱探针台联合系统
日期:2015-11-06, 查看:2814

生产厂家:

系统集成:卓立汉光;

设备生产:激光器(日本Kimmon)、光谱仪与探测器(英国Andor)、半导体参数测试仪(安捷伦)、探针台(台湾奕叶);

仪器型号:

激光器(IK3301R-G)、光谱仪(SR-300i-B)、CCD探测器(DU420A-BVF)、半导体参数测试仪(B1500A)、探针台(奕叶);

仪器用途:

具有实时、同步、原位采集光、电信号的能力;

电学:光、电场作用下电输运性能测量;

光学:光、电场作用下吸收、荧光性能测量;

技术参数:

HeGe激光器:波长325 nm,功率30 mW,聚焦点直径<0.6 mm,噪声<0.5%,稳定性<1%;

SR-300i-B光谱仪:机械扫描范围0-1200 nm,分辨率0.1 nm;

DU420A-BVF探测器:探测范围400-800 nm;量子效率90%/500 nm;

高精度电动位移台:行程75*50mm,步长精度50nm,手动调焦;

紫外物镜:50倍放大,视场100 um,工作距离20mm;

可见光物镜:10倍放大CMOS相机;

延长光路:XY电动调节,行程20 mm,步进1 um, Z轴手动调节;

半导体参数测试仪:高功率测量(量程 ±200 V,±1 A),高分辨测量(量程 ±100 V,±0.1 A;分辨率1 fA),脉冲快速测量(50 ns);

探针台:六探针,带电磁屏蔽箱。