生产厂家:
系统集成:卓立汉光;
设备生产:激光器(日本Kimmon)、光谱仪与探测器(英国Andor)、半导体参数测试仪(安捷伦)、探针台(台湾奕叶);
仪器型号:
激光器(IK3301R-G)、光谱仪(SR-300i-B)、CCD探测器(DU420A-BVF)、半导体参数测试仪(B1500A)、探针台(奕叶);
仪器用途:
具有实时、同步、原位采集光、电信号的能力;
电学:光、电场作用下电输运性能测量;
光学:光、电场作用下吸收、荧光性能测量;
技术参数:
HeGe激光器:波长325 nm,功率30 mW,聚焦点直径<0.6 mm,噪声<0.5%,稳定性<1%;
SR-300i-B光谱仪:机械扫描范围0-1200 nm,分辨率0.1 nm;
DU420A-BVF探测器:探测范围400-800 nm;量子效率90%/500 nm;
高精度电动位移台:行程75*50mm,步长精度50nm,手动调焦;
紫外物镜:50倍放大,视场100 um,工作距离20mm;
可见光物镜:10倍放大CMOS相机;
延长光路:XY电动调节,行程20 mm,步进1 um, Z轴手动调节;
半导体参数测试仪:高功率测量(量程 ±200 V,±1 A),高分辨测量(量程 ±100 V,±0.1 A;分辨率1 fA),脉冲快速测量(50 ns);
探针台:六探针,带电磁屏蔽箱。