生产厂家：
Lakeshore
仪器型号：
EMCRX-HF
主要用途：
低温真空探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件应用领域，包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号，高效率连续流低温真空系统可使温度控制在8K 到475K，可施加磁场（电磁铁）。配合Keithley SCS半导体特性分析系统，可进行薄膜材料、MEMS器件、纳米器件如纳米线、纳米管、量子器件等电光研究，可以进行磁电阻的测试。
技术参数：
10~400 K温度范围，0~5000 Oe，0~360度转角控制。
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