厂商：国仪量子
型号：自研
主要用途
可用于样品微加工、表面形貌与截面观察、Ga薄膜直写沉积等。
技术参数
电子枪分辨率：1.2 nm@15 kV，电子束斑落地电压范围：20 V～30 kV，束流大小：1pA～20 nA；放大倍数范围：1x～2,500,000x（1～16x为光学放大）；
离子束落地电压：20 V~30 kV，分辨率：≤3 nm @ 30 kV，束流调控范围：50 pA到20 nA；
样品台最低温度≤100 K；
样品台行程：X≥50 mm，分辨率100 nm；Y≥50 mm，分辨率100 nm；Z方向≥50 mm，分辨率0.1 mm；倾角-5~65度。
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