您的当前位置:首页 -> 仪器设备 -> 样品制备仪器

样品制备仪器

电子束-PECVD联合系统
日期:2016-12-12, 查看:1936

电子束-PECVD联合系统

将电子束与PECVD系统通过真空管道互联,可以实现金属/绝缘薄膜的连续、高质量制备。